多种含硫溶液钝化(100)GaAs表面的实验研究

• 作者: 么艳平 刘春玲 张晶 王丽娟 王春武 王玉霞 薄报学
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 砷化镓 表面钝化 光致发光 非辐射复合
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 904-906
• 页数: 3页
• 分类号: O472.1|O482.31
• 字数: 1313字
• 语种: 中文

摘要

为实现GaAs表面的钝化,以Na2S、(NH4)2S、CH3CSNH2为主要研究对象,通过对比实验研究得出较为理想的湿法钝化液.通过光致发光(PL)谱研究了(NH4)2S+叔丁醇、CH3CSNH2+NH4OH、CH3CSNH2+叔丁醇三种不同含硫溶液钝化(100)GaAs表面后的发光特性.PL谱测试发现,(NH4)2S+叔丁醇饱和溶液处理过的(100)GaAs表面光致发光强度最强,PL谱的相对发光强度是未做钝化处理的10倍左右.因此得出(NH4)2S +叔丁醇饱和溶液是较为理想的(100)GaAs表面钝化液.