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低温Au-In-Au金属键合及其在VCSELs制作中的应用
低温Au-In-Au金属键合及其在VCSELs制作中的应用
作者:
刘成
劳燕锋
吴惠桢
曹萌
谢正生
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
低温金属键合
垂直腔面发射激光器
反射谱
光致荧光谱
摘要:
研究了Au-In-Au低温金属键合技术,并把它应用到长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件结构的制作中.利用该技术不仅有利于提升器件的热学性能,而且有利于提高VCSEL结构中分布Bragg反射腔镜(DBR)的反射率.实验结果表明,InP基外延半腔VCSEL结构成功地在200℃低温下金属键合到Si衬底上,键合强度高,键合质量达到了VCSEL器件工艺制作要求.对键合样品光学特性的分析表明,低温金属键合过程不影响量子阱有源区及DBR的光学性质,这对VCSEL器件结构的制作是有利的.这种低温金属键合技术,有望应用在许多半导体光电器件的制作中.
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文献信息
篇名
低温Au-In-Au金属键合及其在VCSELs制作中的应用
来源期刊
金属学报
学科
工学
关键词
低温金属键合
垂直腔面发射激光器
反射谱
光致荧光谱
年,卷(期)
2007,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
264-268
页数
5页
分类号
TN365
字数
2913字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0412-1961.2007.03.008
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘成
中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
56
294
8.0
15.0
2
劳燕锋
中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
24
69
5.0
7.0
3
曹萌
中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
15
61
5.0
7.0
4
谢正生
中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
7
28
3.0
5.0
8
吴惠桢
中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
23
87
6.0
7.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(7)
节点文献
引证文献
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同被引文献
(3)
二级引证文献
(0)
1993(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1995(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
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参考文献(1)
二级参考文献(0)
2000(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
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参考文献(1)
二级参考文献(0)
2005(1)
参考文献(1)
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参考文献(0)
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引证文献(0)
二级引证文献(0)
2011(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2012(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2014(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2017(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2019(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
低温金属键合
垂直腔面发射激光器
反射谱
光致荧光谱
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
金属学报
主办单位:
中国金属学会
出版周期:
月刊
ISSN:
0412-1961
CN:
21-1139/TG
开本:
大16开
出版地:
沈阳文化路72号
邮发代号:
2-361
创刊时间:
1956
语种:
chi
出版文献量(篇)
4859
总下载数(次)
9
总被引数(次)
67470
相关基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:
National Basic Research Program of China
官方网址:
http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:
农业
期刊文献
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