HFCVD系统中衬底接触热阻的研究

• 作者: 卢文壮 左敦稳 徐锋 李磊 黎向锋
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 热丝化学气相沉积法 接触热阻 有限元 温度场 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 27-31,51
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 2420字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.01.007

摘要

建立了热丝CVD大面积金刚石膜沉积的衬底温度场模型,对影响衬底温度场的接触热阻及其他相关沉积参数进行了模拟计算.根据实验结果,对接触热阻的计算公式进行了修正.当ζ=0.75时,计算结果和实验结果基本上吻合.在仿真条件下,考虑衬底三维热传导以及热丝温度的不均匀分布使衬底温度场的均匀性明显优于纯热辐射下的温度场.这些计算结果为制备大面积高质量的金刚石薄膜提供了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
2	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
3	徐锋	南京航空航天大学机电学院	85	541	13.0	18.0
4	黎向锋	南京航空航天大学机电学院	109	810	15.0	20.0
5	李磊	南京航空航天大学机电学院	51	810	17.0	27.0