超短脉冲激光烧蚀半导体表面的热效应分析

• 作者: 李俊 陶向阳 黎小鹿
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光物理 飞秒激光 有限差分法 半导体 双温方程
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 624-626,629
• 页数: 4页
• 分类号: TN241
• 字数: 2001字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2007.06.024

摘要

为了研究超短激光辐照下半导体表面的热效应,采用有限差分法对双温方程进行了数值模拟,研究了飞秒、皮秒激光作用下,半导体表面载流子和晶格的温度分布情况.结果表明,载流子与晶格的温度耦合时间和金属耦合时间大致相同,激光功率密度是影响载流子温升的主要因素,超短脉冲激光入射时能量主要被半导体表层载流子吸收,所得结论与实验结果较吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶向阳	江西师范大学物理与通信电子学院	62	498	11.0	18.0
3	李俊	江西师范大学物理与通信电子学院	4	10	2.0	3.0
4	黎小鹿	江西师范大学物理与通信电子学院	2	10	2.0	2.0