平面变栅距位相光栅位移传感器的测量精度极限

• 作者: 刘大禾 周静 沈燕
• 来源期刊: 北京师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 位移传感器 变栅距光栅 FDTD算法
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 166-169
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2364字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0476-0301.2007.02.012

摘要

提出用透射式变栅距位相光栅作位移传感器,用标量衍射理论讨论了这种传感器的测量精度与光栅的起始栅距及栅距变化系数之间的关系,同时用时域有限元差分(FDTD)算法计算了变栅距位相光栅的衍射场,计算结果表明受衍射偏振特性的影响,这种位移传感器的测量精度在理论上存在极限.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘大禾	北京师范大学物理学系	36	281	9.0	15.0
2	周静	北京师范大学物理学系	33	250	7.0	15.0
3	沈燕	北京师范大学物理学系	3	4	1.0	2.0