高速微转子枢轴磨损特性分析

• 作者: 周健斌 孟光 张文明
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微机电系统 微转子 枢轴 磨损
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TH13
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2007.01.003

摘要

微转子枢轴是MEMS(micro-electro-mechanical system)旋转机械中的主要驱动部件之一,在系统高速运转过程中会受到严重的摩擦磨损影响.文中采用统计学方法和分形方法分别分析微尺度效应对MEMS磨损的影响,建立半球形枢轴的数学模型,并分析其磨损率与摩擦力矩,探讨枢轴结构参数与操作参数对系统磨损特性的影响.仿真结果表明,尺度减小,磨损系数变小,增大载荷或增加微枢轴旋转次数均会加剧磨损程度.