碱溶性光敏树脂在光致抗蚀剂中的应用

• 作者: 朱安峰 毛广秀
• 来源期刊: 涂料工业
• 学科: 工学
• 关键词: 碱溶性 UV固化材料 光致抗蚀剂 显影 光敏树脂
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺·设备
• 页码范围: 26-28,32
• 页数: 4页
• 分类号: TQ630.6
• 字数: 3567字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-4312.2007.02.009

摘要

利用合成的碱溶性光敏树脂配制成光致抗蚀剂,对固化速率、碱溶性、涂膜表面干燥性、显影和脱膜等进行了研究.结果表明:树脂含量大于70%时,涂膜具有较好的表面干燥性、显影性和脱膜性能;光引发剂含量为5%左右,固化速率较高;50℃超声波下用3% Na2CO3显影2 min,图象清晰度较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱安峰	淮阴师范学院化学系	14	30	2.0	5.0
2	毛广秀	淮阴师范学院化学系	13	16	2.0	3.0