一种离子注入提速的新方法

• 作者: 顾炜
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 有效化扫描 数字信号处理器 注入时间
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TN820.2
• 字数: 2902字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2007.02.009

摘要

文章介绍的有效化扫描是不改变工艺参数,仅改变机械运动就能缩短注入时间的方法.传统注入工艺中,扫描往返运动会产生大量的额外注入时间.有效化扫描通过数字信号处理器检测和分析,找到圆片脱离束流的瞬间(此时dIB/dt=0;d2IB/dt2＜0,且检测出的点与标准扫描时的一致),改变扫描运动方向,通过缩短扫描往返路程来减少实际注入时间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾炜		12	116	6.0	10.0