飞秒激光微加工:激光精密加工领域的新前沿

• 作者: 何飞 程亚
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 超快光学 飞秒激光 光与物质相互作用 微加工 集成光学 双光子聚合 微流体 纳米颗粒
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 595-622
• 页数: 28页
• 分类号: TN249
• 字数: 23507字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.05.001

摘要

飞秒激光微加工技术具有加工精度高、热效应小、损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点,这些特性是传统的激光加工技术所无法取代的.首先回顾了激光微加工和超短脉冲激光技术的发展历史,然后介绍超短脉冲激光与金属和介质材料相互作用的机制,接着阐述了飞秒激光直写、干涉和投影制备等各种加工方法的原理,重点讨论飞秒激光在三维光子器件集成、微流体芯片制备及其在生化传感方面的应用等,最后展望了飞秒激光微加工领域所面临的机遇和挑战,指出了未来的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程亚	中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室	16	234	4.0	15.0
2	何飞	中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室	26	277	7.0	16.0