作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
飞秒激光微加工技术具有加工精度高、热效应小、损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点,这些特性是传统的激光加工技术所无法取代的.首先回顾了激光微加工和超短脉冲激光技术的发展历史,然后介绍超短脉冲激光与金属和介质材料相互作用的机制,接着阐述了飞秒激光直写、干涉和投影制备等各种加工方法的原理,重点讨论飞秒激光在三维光子器件集成、微流体芯片制备及其在生化传感方面的应用等,最后展望了飞秒激光微加工领域所面临的机遇和挑战,指出了未来的研究方向.
推荐文章
飞秒激光在含能材料加工中的应用
飞秒激光
含能材料
处理
加工
柔性加工技术—激光加工
激光加工
三维软件
汽车制造
飞秒激光在材料微加工中的应用
激光技术
飞秒激光
激光微加工
微结构改性
多光子吸收
光子晶体
激光技术在材料加工领域的应用研究
激光技术
材料加工
高新技术
机械制造
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 飞秒激光微加工:激光精密加工领域的新前沿
来源期刊 中国激光 学科 工学
关键词 超快光学 飞秒激光 光与物质相互作用 微加工 集成光学 双光子聚合 微流体 纳米颗粒
年,卷(期) 2007,(5) 所属期刊栏目 综述
研究方向 页码范围 595-622
页数 28页 分类号 TN249
字数 23507字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.05.001
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 程亚 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室 16 234 4.0 15.0
2 何飞 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室 26 277 7.0 16.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (110)
共引文献  (28)
参考文献  (165)
节点文献
引证文献  (165)
同被引文献  (193)
二级引证文献  (207)
1960(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1967(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1970(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1981(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1982(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
1983(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1984(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1985(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1987(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1988(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1989(4)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(2)
1990(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
1991(3)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(1)
1992(4)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(4)
1993(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1994(8)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(6)
1995(4)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(3)
1996(13)
  • 参考文献(8)
  • 二级参考文献(5)
1997(16)
  • 参考文献(7)
  • 二级参考文献(9)
1998(18)
  • 参考文献(8)
  • 二级参考文献(10)
1999(19)
  • 参考文献(7)
  • 二级参考文献(12)
2000(15)
  • 参考文献(8)
  • 二级参考文献(7)
2001(27)
  • 参考文献(7)
  • 二级参考文献(20)
2002(30)
  • 参考文献(17)
  • 二级参考文献(13)
2003(34)
  • 参考文献(24)
  • 二级参考文献(10)
2004(18)
  • 参考文献(18)
  • 二级参考文献(0)
2005(27)
  • 参考文献(27)
  • 二级参考文献(0)
2006(18)
  • 参考文献(18)
  • 二级参考文献(0)
2007(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2007(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2008(15)
  • 引证文献(14)
  • 二级引证文献(1)
2009(15)
  • 引证文献(9)
  • 二级引证文献(6)
2010(24)
  • 引证文献(8)
  • 二级引证文献(16)
2011(20)
  • 引证文献(7)
  • 二级引证文献(13)
2012(24)
  • 引证文献(13)
  • 二级引证文献(11)
2013(28)
  • 引证文献(10)
  • 二级引证文献(18)
2014(33)
  • 引证文献(18)
  • 二级引证文献(15)
2015(32)
  • 引证文献(15)
  • 二级引证文献(17)
2016(45)
  • 引证文献(18)
  • 二级引证文献(27)
2017(43)
  • 引证文献(23)
  • 二级引证文献(20)
2018(47)
  • 引证文献(20)
  • 二级引证文献(27)
2019(28)
  • 引证文献(7)
  • 二级引证文献(21)
2020(17)
  • 引证文献(3)
  • 二级引证文献(14)
研究主题发展历程
节点文献
超快光学
飞秒激光
光与物质相互作用
微加工
集成光学
双光子聚合
微流体
纳米颗粒
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国激光
月刊
0258-7025
31-1339/TN
大16开
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
4-201
1974
chi
出版文献量(篇)
9993
总下载数(次)
26
总被引数(次)
105193
论文1v1指导