Spatially-Resolved Crystallization of Amorphous Silicon Films on the Glass Substrate by Multi-beam Laser Interference

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篇名	Spatially-Resolved Crystallization of Amorphous Silicon Films on the Glass Substrate by Multi-beam Laser Interference
来源期刊	材料科学技术学报（英文版）	学科	工学
关键词
年，卷（期）	2007,（4）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	465-467
页数	3页	分类号	TB3
字数		语种	英文
DOI	10.3321/j.issn:1005-0302.2007.04.005

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