溶剂、溶胶稳定剂和热处理对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜微观结构的影响

• 作者: 姜辛 孙超 宫骏 朱明伟 黄辉
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶剂 溶胶稳定剂 热处理 择优取向
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 页码范围: 1043-1047
• 页数: 5页
• 分类号: TB34|TB43
• 字数: 3687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2007.10.007

摘要

采用溶胶-凝胶法,通过调整溶剂、溶胶稳定剂和热处理工艺在玻璃片上制备出不同工艺参数的ZnO薄膜.利用XRD和SEM考察了ZnO薄膜的择优取向和表面形貌.实验结果表明:采用高沸点溶剂时ZnO薄膜择优取向更强;单乙醇胺为稳定剂时ZnO薄膜择优取向很强,而二乙醇胺或三乙醇胺为稳定剂时择优取向微弱;预处理温度高于ZnO凝胶膜晶化开始温度时择优取向将减弱;最终处理温度在500 ℃以下时,随温度提高,晶粒尺寸增大,择优取向增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙超	中国科学院金属研究所	126	1708	23.0	34.0
2	宫骏	中国科学院金属研究所	52	464	12.0	20.0
3	黄辉	中国科学院金属研究所	15	116	8.0	10.0
4	朱明伟	中国科学院金属研究所	1	9	1.0	1.0
5	姜辛	锡根大学材料与表面技术研究所	1	9	1.0	1.0