基于ANSYS的HFCVD金刚石厚膜的热应力分析

• 作者: 左敦稳 张海余 徐锋 闫静
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ANSYS 金刚石厚膜 热应力
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 170-174
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2444字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.01.038

摘要

金刚石膜中的热应力会削弱金刚石薄膜与基底之间的粘结强度和金刚石膜的机械性能,更严重的会使CVD膜产生热裂纹甚至出现"炸膜"现象.本文根据HFCVD金刚石膜沉积过程中实际工作状态的边界条件,通过有限元软件ANSYS计算分析HFCVD金刚石膜中的热应力分布,并通过实验进行了验证,获得了HFCVD膜中热应力的分布规律以及金刚石膜半径、厚度、沉积温度和冷却速度四项实验条件对热应力的影响.研究结果表明:热应力沿径向分布是不均匀的,在边缘部分有突变;金刚石膜的膜厚,冷却速度和沉积温度对金刚石膜中的热应力影响很大,而金刚石膜的半径对膜中热应力影响较小,从而为HFCVD金刚石膜中热应力的预测与控制提供依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
2	徐锋	南京航空航天大学机电学院	85	541	13.0	18.0
3	闫静	南京航空航天大学机电学院	26	180	8.0	12.0
4	张海余	南京航空航天大学机电学院	2	28	2.0	2.0