微型半球陀螺仪的误差源研究

• 作者: 倪受东 吴洪涛 嵇海平 朱剑英
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微型半球陀螺仪 量测误差 非线性效应 热漂移 结构误差
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: V241.6
• 字数: 2746字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.01.010

摘要

讨论了微型半球陀螺仪特有的一些误差源,主要有感测电路上的量测误差、电极与薄壳间电容的非线性效应误差、温度变化所引发的热漂移、线加速度所引发的误差以及非对称结构和非对称阻尼误差等.对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴洪涛	南京航空航天大学机电学院	241	1949	19.0	30.0
2	朱剑英	南京航空航天大学机电学院	156	3555	32.0	53.0
3	倪受东	南京航空航天大学机电学院	49	271	10.0	14.0
7	嵇海平	南京航空航天大学机电学院	3	43	3.0	3.0