准分子激光刻蚀可变焦光路设计研究

• 作者: 祁恒 钱晓峰 陈涛
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计与制造 变焦物镜 光线追迹 准分子激光
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 262-264
• 页数: 3页
• 分类号: TN202
• 字数: 1274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2007.03.026

摘要

为了研究在准分子激光刻蚀聚合物的过程中避免经常往复更换不同大小而形状相同的掩模的实验操作,保证实验的连续性和结果的真实性和可靠性,在实验的加工系统中基于变焦距系统的原理采用引入一个变焦物镜代替原来系统中普通物镜的方法,取得了一个准分子激光刻蚀可变焦光路系统.采用ZEMAX软件设计一个可变焦物镜镜头并分析了它的成像质量.经过ZEMAX软件的模拟,结果表明,此变焦镜头成像质量基本达到要求,缩小倍率在0.15～0.24范围内可连续变化.因此,使用这个变焦物镜,在同样的实验条件下,可以采用同一片掩模而不再往复更换掩模就可蚀刻出大小不同的结构;同时由于不再经常需要中断实验过程,保证了实验结果的真实性.该技术在激光蚀刻中有很大的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈涛	北京工业大学激光工程研究院	77	383	12.0	17.0
2	祁恒	北京工业大学激光工程研究院	7	60	4.0	7.0
3	钱晓峰	北京工业大学激光工程研究院	3	14	2.0	3.0