薄膜测量的变间距不接触三电极技术

• 作者: 刘英 曹晓珑
• 来源期刊: 电工技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 变间距不接触三电极 极薄的薄膜 相对电容率 介质损耗角正切
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 电工材料
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TM930.12
• 字数: 3622字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-6753.2007.05.007

摘要

针对电气绝缘用薄膜材料相对电容率εr和介质损耗角正切tanδ的测量,IEC推荐了变间距不接触三电极方法.为了配合我国国家标准的制定及推广,自行研制了高精度的空气媒质变间距不接触三电极系统,其测量电极直径为38mm,保护间隙宽度为0.2mm,满足极薄(厚度小于30μm)的薄膜材料测量的特殊技术需求,可将εr的测量误差控制在5%以内,tanδ可测到10-5数量级.通过大量试验及理论分析,系统研究了影响测量准确度的关键因素,并将两种不接触电极方法进行了比较,以供相关技术人员作为实际应用时的借鉴和参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹晓珑	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	91	1600	23.0	35.0
2	刘英	西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室	52	898	14.0	29.0