金属互连电迁移噪声的分形特征

• 作者: 何亮 卫涛 杜磊 胡瑾 陈春霞 黄小君
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电迁移 金属互连 分形
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 6674-6679
• 页数: 6页
• 分类号: TG1
• 字数: 3938字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.11.084

摘要

为了研究金属互连电迁移失效机理并寻找新的电迁移表征参量,应用分形理论,通过电子扩散轨迹分形维数,将电迁移噪声时间序列分形维数与晶粒间界分形维数相联系,确定了噪声时间序列分形维数在电迁移演变中的变化趋势.研究结果表明,在金属互连电迁移前期,晶粒间界形貌越来越复杂,致使噪声时间序列的分形维数逐渐增大;成核后,由于空位凝聚成空洞,晶粒间界形貌变得较成核前规则,致使噪声时间序列的分形维数减小;成核时刻是其转折点.实验结果证明理论分析的正确性,噪声时间序列的分形维数可望作为金属互连电迁移演变的表征参量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡瑾	西安电子科技大学技术物理学院	4	55	3.0	4.0
2	杜磊	西安电子科技大学技术物理学院	99	486	13.0	18.0
3	何亮	西安电子科技大学技术物理学院	36	212	7.0	14.0
4	黄小君	西安电子科技大学技术物理学院	3	31	3.0	3.0
5	陈春霞	西安电子科技大学技术物理学院	3	31	3.0	3.0
6	卫涛	西安电子科技大学技术物理学院	3	31	3.0	3.0