利用线形液膜的红外热像测定GaAs的湿法化学腐蚀启动时长

• 作者: 刘霖 叶玉堂 吴云峰 方亮 陆佳佳 陈镇龙
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 砷化镓 腐蚀 红外辐射 实时监测 液滴
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 222-226
• 页数: 5页
• 分类号: TN301.2
• 字数: 2696字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.02.016

摘要

提出了一种测定材料湿法刻蚀启动时长的红外热像新方法.该方法的实质是利用反应启动时必然有化学热吸收或释放,从而引起材料表面液层温度变化这一特点,通过红外热像实时监测系统,采集液层温度变化过程的红外热像,从而判断反应启动时长.理论分析和实验结果均表明,宽度为2 mm的呈直线形状的GaAs表面酸性液膜是较为理想的监测对象,因其同时具备温度变化信息和空间分布信息,可以将线形液膜中心作为理想的观测特征点;由滑动液滴形成残留线形液膜可以得到超浅液膜,降低膜厚影响,温度变化灵敏度高,GaAs竖直放置,可以表面避免液膜重力对启动时长的影响,并经反复实验,由线形液膜的横向剖面灰度变化得到在本实验条件下,GaAs材料与H2SO4∶H2O2∶H2O(5∶1∶50)腐蚀液的反应启动时长约为0.2 s.该方法的提出,对于化学反应时间控制、快速腐蚀技术以及化学吸附等性能研究均具有重要价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴云峰	电子科技大学光电信息学院	106	653	13.0	18.0
2	叶玉堂	电子科技大学光电信息学院	170	1471	17.0	30.0
3	陈镇龙	电子科技大学光电信息学院	32	236	7.0	14.0
4	刘霖	电子科技大学光电信息学院	73	411	11.0	16.0
5	方亮	电子科技大学光电信息学院	17	144	7.0	11.0
6	陆佳佳	电子科技大学光电信息学院	9	78	5.0	8.0