非晶/微晶过渡区内材料性能及电池的研究

• 作者: 孙建 张晓丹 赵颖 陈飞 魏长春
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 甚高频等离子增强化学气相沉积 过渡区 太阳电池
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 119-122,128
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 1642字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.01.027

摘要

本文采用甚高频等离子增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,通过调节硅烷浓度,获得了系列硅薄膜材料,并用拉曼散射光谱和X射线衍射光谱对材料的结构特性进行了测试分析,同时还使用原子力显微镜观察比较了薄膜的表面形貌.结果发现:在非晶/微晶过渡区内存在着一个光敏性较大的区域,这个区域内的材料晶化率为零,但是表面存在一些微小的晶粒;与拉曼散射光谱相比,X射线衍射光谱对微小的晶化更加敏感.以这部分材料作为太阳电池的本征层,在SnO2衬底上制备了p-i-n型太阳电池,电池的初始开路电压(Voc)达到了0.891V.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙建	南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室	67	311	10.0	14.0
2	陈飞	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	6	8	2.0	2.0
3	张晓丹	南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室	57	247	7.0	14.0
4	魏长春	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	24	126	6.0	10.0