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摘要:
为了预测热加工过程中的流道轮廓和烧蚀面温度场,基于CO2激光直写聚合物微流体芯片加工原理以及传热学原理和能量平衡原理,建立了三维瞬态激光烧蚀模型.通过有限元方法和伽辽金变换得到有限元矩阵方程,利用单元生死技术和高精度数值算法模拟了烧蚀过程的材料损失,并给出了三维瞬态动态烧蚀界面和温度场随时间和空间的变化关系.以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为例,给出了在不同时刻的数值算例,实验得到的流道深度与模拟结果吻合.仿真结果表明采用该方法预测流道轮廓和温度场是可行的.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 三维瞬态激光烧蚀聚合物微流道动态界面研究
来源期刊 浙江大学学报(工学版) 学科 工学
关键词 CO2激光加工 有限元 烧蚀界面 微流体芯片
年,卷(期) 2007,(11) 所属期刊栏目 机械工程
研究方向 页码范围 1908-1911
页数 4页 分类号 O242.21|TK124
字数 2633字 语种 中文
DOI 10.3785/j.issn.1008-973X.2007.11.027
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研究主题发展历程
节点文献
CO2激光加工
有限元
烧蚀界面
微流体芯片
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
浙江大学学报(工学版)
月刊
1008-973X
33-1245/T
大16开
杭州市浙大路38号
32-40
1956
chi
出版文献量(篇)
6865
总下载数(次)
6
总被引数(次)
81907
相关基金
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:http://www.863.org.cn
项目类型:重点项目
学科类型:信息技术
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