飞秒激光制备CdS薄膜滤波器的研究

• 作者: 刘忠明 刘恋 姜德生 童杏林
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CdS薄膜滤波器 脉冲激光沉积 结构和光学特性
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 717-721
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 4094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.05.017

摘要

采用脉冲飞秒激光沉积方法,在石英衬底上制备了CdS薄膜滤波器.研究显示衬底温度在100～600℃范围内变化对CdS薄膜衬底的结构及光学特性有重要影响,在450℃的衬底温度下所生长的CdS薄膜具有较好的结构质量,该薄膜在500nm附近具有较陡的吸收带边及良好的光学滤波性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜德生	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	202	2882	27.0	39.0
2	刘忠明	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	6	35	3.0	5.0
3	童杏林	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	31	105	6.0	8.0
4	刘恋	武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室	10	22	3.0	4.0