柔性电热镍微夹钳结构设计及加工测试研究

• 作者: 关乐 王立鼎 褚金奎 郝秀春
• 来源期刊: 大连理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性机构 伪刚体法 微夹钳 UV-LIGA
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 材料、机械工程
• 页码范围: 363-367
• 页数: 5页
• 分类号: TH162
• 字数: 1865字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-8608.2007.03.011

摘要

把柔性机构的设计方法--伪刚体法应用于柔性微夹钳的设计中,得到一种新结构形式的电热微夹钳,用UV-LIGA方法进行加工制作,并进行动态性能测试. 从对称的平面十杆刚性机构得到其伪刚体模型,对伪刚体模型进行优化并柔性化得到放大20倍的柔性微夹钳钳体,通过仿真验证了设计的正确性和可靠性. V形电热驱动器与柔性钳体集成到一起,形成柔性电热微夹钳. 用SU-8胶做电铸铸模,钛和二氧化硅做牺牲层,铜做种子层,在氨基磺酸镍电铸液中进行电铸,加工出最小特征尺寸10 μm,厚度30 μm的电热镍微夹钳. 最后对制作的微夹钳在0～1.5 V直流电压下进行动态测试,夹持端位移最大可达24 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚金奎	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	119	1260	20.0	30.0
5	关乐	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	11	54	5.0	7.0
9	郝秀春	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	7	72	5.0	7.0