应用于压电叠堆泵的微位移放大机构

• 作者: 刘登云 刘鹏 吴丽萍 杨志刚 陈洪涛
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电叠堆泵 放大机构 微位移 柔性铰链 三角形放大
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 884-888
• 页数: 5页
• 分类号: TH38|TN384
• 字数: 2235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.06.014

摘要

提出了一种应用于压电叠堆泵的微位移放大机构,该机构以压电叠堆(积层式压电微位移器)为驱动元件,通过基于三角形放大原理的柔性铰链放大机构,放大压电叠堆的输出位移.同时,设计、研制了实验装置,并在试制样机上对其静、动态特性进行了实验.实验测试结果表明:该机构对压电叠堆输出位移的放大倍数达到5倍,并且该机构具有线性良好、高分辨率、高频响应等特点.由有限元分析得到的固有频率达到了1.8 kHz,实际测量的固有频率为1.5 kHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘登云	吉林大学机械科学与工程学院	7	116	5.0	7.0
2	陈洪涛	吉林大学机械科学与工程学院	7	81	4.0	7.0
3	杨志刚	吉林大学机械科学与工程学院	234	2872	26.0	40.0
4	吴丽萍	吉林大学机械科学与工程学院	18	93	5.0	9.0
6	刘鹏	吉林大学机械科学与工程学院	98	624	14.0	21.0