钛基纳米金刚石涂层场发射阴极

• 作者: 张志勇 王雪文 翟春雪 赵武 阎军锋
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体材料 场发射阴极 键合 纳米金刚石 钛衬底
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 光电子学与光电器件
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TN383+.1
• 字数: 1789字
• 语种: 中文

摘要

设计了一种新的金刚石场发射阴极工艺.用旋涂法在金属钛片上涂覆纳米金刚石涂层,经过适当条件的真空热处理,实现钛与金刚石之间的化学键合即欧姆接触,从而形成以金属钛为衬底,碳化钛键合层为过渡层,金刚石纳米颗粒为场发射体的场发射阴极.样品的阈值场强可达 6.3 V/μm,场发射电流密度在21 V/μm场强下可达到60.7 μA/cm2.提出了样品的结构模型,并分析了其电子输运方式.样品的Fowler-Nordheim曲线基本为一直线,根据经典场发射理论,可以证实其电子发射机制为场发射.观察到在获得稳定的场发射性能之前存在激发过程,并对其作了简单解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志勇	西北大学信息科学与技术学院电子科学与技术系	98	759	13.0	22.0
2	王雪文	西北大学信息科学与技术学院电子科学与技术系	45	408	11.0	18.0
3	翟春雪	西北大学信息科学与技术学院电子科学与技术系	15	50	4.0	6.0
7	赵武	西北大学信息科学与技术学院电子科学与技术系	29	269	8.0	15.0
8	阎军锋	西北大学信息科学与技术学院电子科学与技术系	13	290	6.0	13.0