片上集成三电极体系微电极阵列的表征

• 作者: 吕尊实 周嘉 陈华 鲍敏杭 黄宜平
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电极 表征 循环伏安法
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 生物化学传感器
• 页码范围: 329-331
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 字数: 1542字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.103

摘要

设计制作了片上集成三电极体系微电极阵列.工作电极分为圆形和方形两种,电极特征尺寸为100～900 μm,工作电极与对电极间距为50～200 μm.利用循环伏安法,在氧化还原电位探针二茂铁甲醇的作用下,对各三电极微系统进行了电极性能表征,具体分析了工作电极的形状、大小、与对电极的间距对输出特性的影响,为片上集成三电极体系的微电极阵列的设计优化提供了实际依据.