ZnO薄膜的丙酮气敏特性研究

• 作者: 孙以材 李辉 杜鹏 潘国锋 邱美艳
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体技术 ZnO薄膜 传感器 丙酮 选择性
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 46-48,52
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3360字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.05.015

摘要

用直流磁控反应溅射法,分别在Si(111)基片及Al2O3陶瓷基片上制备了ZnO薄膜,并进行TiO2、SnO2、Al2O3或CuO的掺杂和退火处理.用XRD分析了退火前后晶型的变化,利用气敏测试系统对各样品进行了气敏特性测试.结果表明:经过700 ℃退火后的样品,在最佳工作温度为220 ℃时,对丙酮有很好的选择性和很高的灵敏度(34.794).掺杂TiO2或SnO2,可提高ZnO薄膜传感器对丙酮的灵敏度(57.963).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子研究所	117	1247	18.0	31.0
2	李辉	河北工业大学微电子研究所	46	263	10.0	14.0
3	潘国锋	河北工业大学微电子研究所	11	64	5.0	7.0
4	邱美艳	河北工业大学微电子研究所	5	43	4.0	5.0
5	杜鹏	河北工业大学微电子研究所	4	35	4.0	4.0