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摘要:
推荐文章
视频的超分辨率增强技术综述
视频
图像
超分辨率
时空
一种新的毫米波辐射图像分辨率增强方法
图像处理
分辨率增强
双三次插值
非线性外推破
冷压印光刻中高分辨率抗蚀剂的研究
集成电路
抗蚀剂
冷压印光刻
评价衍射增强成像空间分辨率的方法
衍射增强成像
调制传递函数
空间分辨率
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 反转光刻对分辨率增强技术的新威胁
来源期刊 集成电路应用 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2007,(7) 所属期刊栏目 工艺与制造
研究方向 页码范围 23
页数 1页 分类号 TN4
字数 1268字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2007.07.010
五维指标
传播情况
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引文网络
引文网络
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2007(0)
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2008(1)
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
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