空间相机反射镜碳化硅材料性能测试

• 作者: 任建岳 刘磊 高明辉
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 空间相机 反射镜 反射率 碳化硅 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1170-1174
• 页数: 5页
• 分类号: V447.3|TH703|V254
• 字数: 2934字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.08.003

摘要

通过对SiC样件加工研磨及反射率等性质的测试,得到了材料的性能数据,分析了用SiC材料制备反射镜毛坯的几种方法的优缺点.采用Lanmda-9分光光度计,对SiC在不同表面镀硅、镀银、以及镀硅后再镀银的条件下进行了反射率测试,得出在镀硅再镀银条件下,反射率最高,达到98%的结果.利用Wyko干涉仪对国产SiC长条形样镜进行研磨分析测试,测得表面粗糙度值为6.27 nm.该材料在某型号离轴三反光学系统中作为反射镜得以应用和验证,测得被加工后,镜面面形PV值达到0.068 λ,RMS值为0.01 λ(λ=632.8 nm).此结果表明,材料的性能达到了可加工可应用的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任建岳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	127	1431	23.0	31.0
2	刘磊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	181	1653	22.0	30.0
3	高明辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	203	7.0	13.0