沉积温度对ZnO薄膜波导的PLD生长影响的实验研究

• 作者: 叶志清 吴木生 徐初东 徐海涛 杨小红 罗志环 邓海东
• 来源期刊: 江西科学
• 关键词: 脉冲激光沉积技术(PLD) X射线衍射仪(XRD) 半高宽度(FWHM)
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 128-131
• 页数: 4页
• 分类号: O484.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3679.2007.02.005

摘要

采用PLD(脉冲激光沉积)技术在单晶硅(100)基片上制备出性能优良的ZnO薄膜,并通过XRD(X射线衍射仪)和SEM(扫描电镜)检测了其结晶情况,并分析了其沉积温度和结晶质量之间的相互关系,结果表明600 ℃时沉积的氧化锌薄膜材料的结晶性能最好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶志清	江西师范大学物理与通信电子学院	75	448	11.0	17.0
2	杨小红	华南农业大学理学院应用物理系	29	116	6.0	9.0
3	邓海东	华南农业大学理学院应用物理系	19	35	3.0	4.0
4	罗志环	华南农业大学理学院应用物理系	18	11	2.0	3.0
5	吴木生	江西师范大学物理与通信电子学院	11	86	4.0	9.0
6	徐海涛	华南农业大学理学院应用物理系	18	50	3.0	7.0
7	徐初东	华南农业大学理学院应用物理系	22	35	3.0	4.0