类金刚石膜的制备技术及应用领域概况

• 作者: 张碧云 曲燕青 聂朝胤 谢红梅
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石 薄膜 制备 应用 沉积技术
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 70-73
• 页数: 4页
• 分类号: TQ153
• 字数: 2844字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2007.03.024

摘要

简要介绍了类金刚石膜的结构,综述了类金刚石膜的传统制备方法以及其制备方法的基本原理和优缺点,同时介绍了几种近年发展起来的新兴制备方法,与传统制备方法相比,它更能提高膜的沉积速率和质量.总结了类金刚石膜在机械、电子、光学、医学、航空等领域的应用状况.同时指出,随着DLC技术上的成熟,其必将在更多领域发挥越来越大的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	聂朝胤	西南大学材料科学与工程学院	32	249	9.0	14.0
2	谢红梅	西南大学材料科学与工程学院	10	100	6.0	10.0
3	张碧云	西南大学材料科学与工程学院	4	61	3.0	4.0
4	曲燕青	西南大学材料科学与工程学院	2	44	2.0	2.0