激光化学刻蚀YBCO高温超导薄膜进程中电流与红外特性

• 作者: 刘娟秀 刘霖 叶玉堂 罗正祥 羊恺 补世荣
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光辅助化学刻蚀 高温超导薄膜 钇钡铜氧 红外特性
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 光电测量与光学系统
• 页码范围: 132-135
• 页数: 4页
• 分类号: TN249|O511+.9
• 字数: 2631字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.03.028

摘要

利用自行研制的电流与红外实时监测系统,研究了YBCO高温超导薄膜激光辅助化学刻蚀进程中溶液腐蚀电流与红外辐射的变化规律,为YBCO激光化学刻蚀技术中激光功率选择,腐蚀液配比,温度控制以及刻蚀时间的掌握提供了重要的实验依据.主要研究结论包括:YBCO薄膜激光化学刻蚀中溶液腐蚀电流初始值较大,增长速率相对稳定,观察到"陡降峰"的出现,并与无激光辐照下的溶液腐蚀电流变化曲线进行对比,分析了可能的原因;通过对腐蚀溶液的侧面红外实时监测,观察化学热的生成及其对流情况,发现激光辐照使YBCO薄膜刻蚀速率加快,而且除激光化学作用外,腐蚀液自身温度升高也是导致刻蚀速率加快的重要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗正祥	电子科技大学电子工程学院微波中心	74	751	14.0	24.0
2	羊恺	电子科技大学电子工程学院微波中心	65	331	9.0	14.0
3	叶玉堂	电子科技大学光电信息学院	170	1471	17.0	30.0
4	刘娟秀	电子科技大学电子工程学院微波中心	49	264	8.0	13.0
5	刘霖	电子科技大学光电信息学院	73	411	11.0	16.0
6	补世荣	电子科技大学电子工程学院微波中心	39	184	8.0	12.0