气压对金刚石膜生长的影响

• 作者: 朱莉 毕冬梅 赵利军
• 来源期刊: 长春大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 气压 膜的质量
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 24-26
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1227字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-3907-B.2007.05.007

摘要

采用电子铺助热灯丝化学气相沉积(EA-CA)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,气压对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量.用Raman,SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵利军	长春大学特殊教育学院	34	49	4.0	5.0
2	朱莉	长春大学理学院	23	40	4.0	5.0
3	毕冬梅	长春大学理学院	39	44	4.0	4.0