纳米压入法测试薄膜力学性能的若干关键影响因素分析

• 作者: 周向阳 王海容 蒋庄德 蒋志强
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 纳米压入 薄膜 弹性模量 硬度 测试误差 影响因素
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 737-744
• 页数: 8页
• 分类号: O484.5|O343|TG115.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2007.05.009

摘要

纳米压入法是目前薄膜等小体积MEMS(micro-electro-mechanical system)材料力学性能评定广为使用的方法,其测试可靠性严重依赖于仪器校准及对各种误差影响因素的消除和修正.文中以Oliver-Pharr数学评定模型为基础,对包括仪器柔度、压尖几何形状偏差、初始接触点位移、尺寸效应、基底、堆积和凹陷、蠕变、表面粗糙度等在内的薄膜弹性模量和硬度纳米压入测试时的若干关键影响因素进行分析.在此基础上,分别给出相应的处理办法和数据修正措施.研究表明,只有综合考虑这些因素的影响,方能获得准确的薄膜本征力学性能参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德		165	1512	18.0	28.0
3	周向阳		8	42	4.0	6.0
5	王海容		29	262	10.0	15.0
13	蒋志强		1	13	1.0	1.0