磁控溅射法制备SnO2-CuO薄膜及其气敏特性研究

• 作者: 孙以材 杜鹏 潘国锋 邱美艳
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2-CuO薄膜 气敏特性 灵敏度 掺杂
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 工艺技术与材料
• 页码范围: 781-784
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.054
• 字数: 3541字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.09.012

摘要

用直流磁控溅射法分别在Si及陶瓷管上制备掺有CuO的SnO2纳米薄膜,并用马弗炉进行500 ℃和700 ℃的退火处理.利用气敏测试系统对各样品进行气敏特性测试,500 ℃退火的样品对几种被测气体基本都有较高的灵敏度,且随着工作温度的提升,气敏特性下降.700 ℃退火的样品对乙醇具有很好的选择性,表现较好的灵敏度,当最佳工作电压为6.5 V时,在乙醇气体小注入条件下,对样品的测试体现了样品良好的气敏特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子研究所	117	1247	18.0	31.0
2	潘国锋	河北工业大学微电子研究所	11	64	5.0	7.0
3	邱美艳	河北工业大学微电子研究所	5	43	4.0	5.0
4	杜鹏	河北工业大学微电子研究所	4	35	4.0	4.0