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摘要:
提出了一种电磁谐振式微泵电感线圈组件的新制造方法,该方法在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金膜形成的欧姆接触电极作为内引线.我们设计了硅基电感的结构和相关的工艺流程,再利用Ansys有限元软件中的电磁分析模块模拟了电流与磁感应强度的关系、衬底涡流分布等,为平面电感的理论与实验的进一步比较分析提供了参考依据.我们在硅杯背面采用激光打孔得到了膜厚约为5 μm的硅膜,从而可以使衬底中的涡流大幅度减少、电感的Q值得到很大提高.本文提出的新制造方法采用了绝缘性能比SiO2好的Al2O3薄膜作为电感线圈与衬底之间的绝缘层.实验结果表明,本文设计的平面螺旋电感具有制造工艺简单、与IC工艺相兼容的优点,有广泛的应用前景.
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文献信息
篇名 电磁谐振式微泵电感线圈组件的研究
来源期刊 传感技术学报 学科 工学
关键词 MEMS 电磁谐振 微泵 多层内引线 硅基电感
年,卷(期) 2007,(5) 所属期刊栏目 物理类传感器
研究方向 页码范围 1034-1037
页数 4页 分类号 TN4
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.05.019
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 温殿忠 黑龙江大学黑龙江省电子工程重点实验室 51 330 10.0 15.0
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研究主题发展历程
节点文献
MEMS
电磁谐振
微泵
多层内引线
硅基电感
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
月刊
1004-1699
32-1322/TN
大16开
南京市四牌楼2号东南大学
1988
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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