基于PSD的微位移传感器

• 作者: 梁凤超 续志军 胡君 邹振书
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 位置敏感探测器 激光三角法 运算放大器 微弱信号
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 59-61
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 字数: 2131字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.03.019

摘要

微弱电流的放大与处理是基于位置敏感探测器(PSD)的微位移传感器的关键技术.分析了电流一电压转换原理,指出转换误差主要来源于偏置电流及失调电压.应用屏蔽、Guard、避免自激等技术设计了前放电路,实现了微弱电流信号的提取.传感器工作距离为10mm,测量范围为±0.5mm,采用精度为±0.5μm脚的装置驱动钢板进行微位移测量,实验数据表明:传感器分辨力为±0.5μm,检测精度为±2%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	续志军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	572	14.0	22.0
2	胡君	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	50	420	12.0	17.0
3	邹振书	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	52	3.0	5.0