灯丝平面与衬底间距对金刚石膜沉积的影响

• 作者: 朱莉 毕冬梅 王丽丽 赵利军
• 来源期刊: 长春大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 灯丝平面与衬底间距 膜的质量
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 页码范围: 24-26
• 页数: 3页
• 分类号: TB43

摘要

采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA-CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,灯丝平面与衬底间距对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵利军	长春大学特殊教育学院	34	49	4.0	5.0
2	朱莉	长春大学理学院	23	40	4.0	5.0
3	毕冬梅	长春大学理学院	39	44	4.0	4.0