感光薄膜与二维Bragg光栅制备

• 作者: 张卫华 王哲哲 蒋百灵 赵卫 赵高扬
• 来源期刊: 自然科学进展
• 学科: 化学
• 关键词: 二氧化锆 薄膜 感光性 二维格子 激光干涉
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究简讯
• 页码范围: 276-280
• 页数: 5页
• 分类号: O6
• 字数: 2747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-008X.2007.02.019

摘要

微细的二维Bragg光栅在光信息领域有重要应用,传统的干法或湿法蚀刻在高密度格子制备方面有很大难度,研究合成了具有紫外感光性的含锆溶胶,进一步在硅和石英基板上制备了含锆感光性凝胶薄膜,直接利用这种感光性凝胶薄膜,结合激光干涉技术和热处理过程,可在硅基板或石英基板上制备出反射型或透过型二维Bragg格子光栅,X-射线衍射表明,经过热处理后构成格栅的材料为多晶的四方相ZrO2,这类光栅不含有机物,衍射光符合Bragg条件,格子的周期为1μm,格栅线条或栅孔尺寸约0.5μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋百灵	西安理工大学材料科学与工程学院	241	5240	40.0	64.0
2	张卫华	西安理工大学材料科学与工程学院	27	162	8.0	11.0
3	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
4	赵卫	中国科学院西安精密光学机械研究所	130	1414	20.0	30.0
5	王哲哲	西安理工大学材料科学与工程学院	4	16	3.0	4.0