精密工作台光栅定位测量与控制系统的设计

• 作者: 孙亮
• 来源期刊: 电子测试
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅位移检测系统 闭环伺服控制 测量控制 光纤光栅传感器
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 47-48
• 页数: 2页
• 分类号: TP3
• 字数: 2115字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8519.2007.01.009

摘要

定位测量与控制系统是精密仪器中的一个重要组成部分,特别是对高精度的仪器尤为重要.精密工作台光栅定位测量与控制系统是一种包括激光干涉仪、光栅、线纹尺、感应同步器、磁栅及码盘等多个元器件组成的精确的定位测量与控制系统系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙亮		3	41	3.0	3.0