纳米氮化锆薄膜的光学性能研究

• 作者: 张兴元 王亚平 黄佳木
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜光学 纳米氮化锆 电子结构 氧化锆
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 页码范围: 1308-1311
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2709字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2007.12.004

摘要

采用射频磁控溅射法在载玻片和硅片上制备了纳米氮化锆薄膜.结果表明,纳米氮化锆薄膜(10～29nm)呈非晶态,其光学特性在波长380～2700nm的范围内平均可见光透过率为82.86%,平均反射率低至10.78%.扫描隧道谱(STS)分析表明薄膜禁带宽度Eg为2.99 eV,在可见光范围内光子多为透过,反射和吸收较弱.从薄膜的X光电子能谱图(XPS)可知,薄膜表面存在大量的ZrO2,对于纳米级的氮化锆薄膜而言,表面相ZrO2对整体光学性能的影响较大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄佳木	重庆大学材料学院	84	690	13.0	20.0
2	王亚平	重庆大学材料学院	3	44	2.0	3.0
3	张兴元	重庆大学材料学院	8	89	5.0	8.0