XL-80轻巧型激光干涉仪测量系统在北京正式发布销售

• 来源期刊: 模具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 干涉仪测量系统 Renishaw公司 销售 北京 超精密测量 位移系统 激光系统
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 页码范围: 48
• 页数: 1页
• 分类号: TH744.3

摘要

在超精密测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年随着自动化位移系统性能大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的发展需求，现有激光系统的某些性能已无法满足一些客户的要求。近日，畅销全球多年的ML10 Gold激光干涉仪的制造商——英国计量产品世家Renishaw公司推出又一力作XL-80轻巧型激光干涉仪，