Mo-Re合金薄膜的辐照效应研究

• 作者: 张政军 李正操 盛国福 胡殷
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: Mo-Re合金 Re效应 辐照损伤 溅射深度
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 所属期刊栏目: 结构材料及核材料性能
• 页码范围: 422-425
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2007.z1.024

摘要

使用离子注入技术,将200 keV氤离子注入到Mo-Re合金薄膜中,实现对薄膜的表面选区辐照改性.该薄膜的合金成分用X射线荧光光谱(XRF)测出.利用白光干涉表面形貌仪,测量了辐照区的溅射刻蚀深度和表面粗糙度,评价了合金成分对薄膜辐照行为的影响.结果表明:适量Re的加入能够显著提高合金薄膜的抗溅射能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	盛国福	清华大学工程物理系	2	0	0.0	0.0
2	李正操	清华大学材料科学与工程系	13	102	3.0	10.0
3	胡殷	清华大学材料科学与工程系	2	0	0.0	0.0
4	张政军	清华大学材料科学与工程系	12	12	2.0	3.0