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全新的ESANTI单晶圆湿式平台
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | 全新的ESANTI单晶圆湿式平台 | ||
| 来源期刊 | 半导体信息 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | ESANTI 工艺过程 芯片制造 干化 产品周期 处理器技术 缺陷密度 技术单 绝对主导地位 专利产品 | ||
| 年，卷（期） | bdtxx_2007,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 29-29 | |
| 页数 | 1页 | 分类号 | TN405 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
ESANTI
工艺过程
芯片制造
干化
产品周期
处理器技术
缺陷密度
技术单
绝对主导地位
专利产品
研究起点
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体信息
主办单位：
中国半导体行业协会分立器件分会
中国电子科技集团公司第五十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
16开
出版地：
南京市1601信箱43分箱（南京市中山东
邮发代号：
创刊时间：
1990
语种：
chi
出版文献量（篇）
5953
总下载数（次）
11
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