缓冲层对PMS-PNN-PZT压电厚膜材料性能的影响

• 作者: 张雷 李传山 武红霞 沈建兴 董金美
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 PMS-PNN-PZT 压电厚膜 缓冲层 扩散
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TM282
• 字数: 2088字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.07.014

摘要

采用丝网印刷的方法制备了PMS-PNN-PZT四元系压电厚膜陶瓷材料.研究了基板、下电极和PMS-PNN-PZT厚膜层三者之间的高温扩散作用,探讨了SiO2作为缓冲层对PMS-PNN-PZT压电厚膜的压电性能以及显微结构的影响.用XRD和SEM分析材料的相组成、厚膜定位及压电层的显微结构.结果表明,缓冲层有效地阻止了三者之间的相互扩散,样品的d33、εr等都有所提高,所制得的压电厚膜d33为285 pC/N,εr为1 210,Qm为1 330,Kp为0.54.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈建兴	山东轻工业学院材料科学与工程学院	50	298	11.0	14.0
2	李传山	山东轻工业学院材料科学与工程学院	11	84	5.0	9.0
3	董金美	山东轻工业学院材料科学与工程学院	7	67	4.0	7.0
4	张雷	山东轻工业学院材料科学与工程学院	15	338	7.0	15.0
5	武红霞	山东轻工业学院材料科学与工程学院	2	13	2.0	2.0