无铅铁电／压电薄膜材料的研究进展

• 作者: 郑学军
• 来源期刊: 功能材料信息
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电/压电薄膜 掺杂 金属有机物分解法 压电增益 铁电场效应晶体管
• 年，卷（期）: gnclxx_2007,（1）
• 页码范围: 15-21
• 页数: 7页
• 分类号: TN304.9

摘要

微电子技术的迅猛发展和集成化程度的急速提升，致使铁电／压电薄膜材料愈来愈受到人们的关注与重视。本文从三方面介评了铅基和铋类铁电／压电薄膜材料的研究进展：（1）主要制备方法：脉冲激光熔融法（PLD）和金属有机物分解法（MOD）；（2）无铅铁电／压电薄膜微器件：铁电薄膜存储器和压电薄膜传感器；（3）铁电／压电薄膜及其微器件的可靠性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑学军	湘潭大学材料与光电物理学院	38	111	5.0	10.0