微机械电磁阻尼结构分析

• 作者: 吴亚明 徐静 赵军
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微机械 电磁阻尼 振动稳定时间
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 749-753
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2007.05.011

摘要

提出采用电磁阻尼结构来提高微机械角度调节装置的响应速度.通过建立结构模型和分析结构参数对阻尼效果的影响,给出具体设计实例以及制作工艺,证实该阻尼结构的有效性和可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐静	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	29	244	9.0	15.0
2	吴亚明	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	35	193	9.0	11.0
3	赵军	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	100	1883	24.0	40.0