化学气相沉积法制备ZrC涂层的热力学分析

• 作者: 付志强 周家斌 唐春和 李自强 梁彤祥 王成彪
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: ZrC 化学气相沉积 热力学分析
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 化学
• 页码范围: 297-300
• 页数: 4页
• 分类号: TL349
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2007.03.009

摘要

ZrC涂层可能在新一代TRISO包覆颗粒上被用作阻挡裂变产物和承受主要载荷的关键层,是先进高温气冷堆燃料元件研究的一个重要方向.文章利用HSC-CHEMISTRY 4.1软件分析化学气相沉积工艺参数对所制备的ZrC涂层的影响.分析结果表明,在载气中加入足够的氢气对制备单一ZrC涂层很有必要.ZrCl4的转化率随着沉积温度的升高而增加,当温度过高时,其影响不明显;较佳的沉积温度范围为1 400～1 600 ℃.随着反应物浓度的增加,获得单一ZrC涂层对应的最低ZrCl4与CH4的摩尔分数比增加;反应物摩尔分数的最佳范围可选为:甲烷,1.0%～2.0%;ZrCl4,为甲烷的1.5倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁彤祥	清华大学核能与新能源技术研究院	51	422	12.0	18.0
2	唐春和	清华大学核能与新能源技术研究院	40	239	9.0	13.0
3	李自强	清华大学核能与新能源技术研究院	17	113	7.0	10.0