CN1887997超大规模集成电路多层布线SiO2介质的纳米SiO2磨料抛光液

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 超大规模集成电路 纳米SIO2 多层布线 抛光液 磨料 介质 二氧化硅水溶胶 表面活性剂
• 年，卷（期）: zgcycl_2007,（6）
• 页码范围: 37
• 页数: 1页
• 分类号: TN47

摘要

本发明涉及一种超大规模集成电路多层布线SiO2介质的纳米SiO2磨料抛光液。该抛光液的组分及重量％如下：磨料：二氧化硅水溶胶固含量：20-45，复合碱：0．5—5．5，渗透剂：1．0—10，表面活性剂：1．0-10．