GaN薄膜光学常数的椭圆偏振光谱研究

• 作者: 俞金玲 刘达艺 姜伟 康俊勇 李书平
• 来源期刊: 福州大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭圆偏振光谱 GaN 薄膜,光学常数 色散模型
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: O433.4
• 字数: 1662字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2243.2007.z1.005

摘要

采用椭圆偏振光谱法,在1.5～6.5 eV光谱范围研究了纤锌矿结构GaN外延薄膜.通过物理模型建立和光谱拟合得到了GaN外延薄膜的厚度和光学常数.所得厚度值与扫描电子显微镜测量的结果相差仅为0.4%.表明所采用的模型和Cauchy吸收色散表式适用于GaN薄膜.进一步采用四相逐点拟合算法得到更全面更准确的GaN薄膜光学常数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李书平	福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系	4	11	2.0	3.0
2	康俊勇	福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系	4	11	2.0	3.0
3	姜伟	福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系	2	8	2.0	2.0
4	刘达艺	福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系	3	9	2.0	3.0
5	俞金玲	福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系	1	4	1.0	1.0