大面积金刚石自支撑膜机械抛光的优化工艺研究

• 作者: 佟玉梅 吕反修 唐伟忠 宋建华 曲杨 郭世斌
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石自支撑膜 机械抛光 优化工艺
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1173-1175
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 2736字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2007.07.037

摘要

研究了一种用于抛光等离子体溅射CVD法制备的金刚石自支撑膜的高效安全的抛光工艺.试验探索了转盘转速、金刚石粉颗粒尺寸、磨盘表面形状对金刚石自支撑膜磨抛速率的影响.研究表明:带槽盘对金刚石自支撑膜的粗研磨效果明显,速率较高,平面盘对提高金刚石自支撑膜的表面粗糙度有利;不同颗粒的金刚石粉对应着各自合适的能充分利用其磨削能力的转速,在这个转速下,金刚石自支撑膜的磨抛速率在12μm/h左右.本文通过对新的工艺参数的探索,为金刚石自支撑膜后续加工提供有力的技术支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所	106	860	16.0	21.0
3	宋建华	北京科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所	29	265	11.0	14.0
4	佟玉梅	北京科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所	22	268	10.0	15.0
5	郭世斌	北京科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所	8	31	3.0	5.0
6	曲杨		1	5	1.0	1.0