尺蠖型压电直线驱动器的动态特性

• 作者: 华顺明 吴博达 曲兴田 杨志刚 程光明 赵宏伟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 尺蠖运动 精密定位 直线运动 动态特性
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 873-877
• 页数: 5页
• 分类号: TM359.4|TN384
• 字数: 3343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.06.012

摘要

分析了尺蠖型压电直线驱动器的结构原理,建立了驱动器系统动力学模型.对驱动器定子进行了模态分析,并对分析结果进行了评价.对设计开发的驱动器样机输出特性进行了试验测试,实验测得驱动器单步输出位移稳定可靠,100 V驱动电压下,单步输出位移为9.8 μm.对驱动器直线动子的速度、加速度特性进行了测试,依据速度、加速度信号进一步分析了驱动器的动态响应特性.实验结果表明,所开发的驱动器具有动态特性好、运动稳定等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚	吉林大学机械科学与工程学院	234	2872	26.0	40.0
2	程光明	吉林大学机械科学与工程学院	164	2317	26.0	37.0
3	曲兴田	吉林大学机械科学与工程学院	42	240	10.0	14.0
4	吴博达	吉林大学机械科学与工程学院	60	830	17.0	25.0
5	赵宏伟	吉林大学机械科学与工程学院	212	1233	19.0	27.0
6	华顺明	吉林大学机械科学与工程学院	16	245	9.0	15.0